نظام تبخيري عالي الفراغ
يمثل نظام التبخر الفراغي العالي حلاً تقنيًا متطورًا مصممًا لمعالجة المواد بدقة وتطبيقات الطلاء. يعمل هذا النظام المتقدم من خلال إنشاء بيئة ضغط منخفض للغاية، عادةً أقل من 10-6 تور، حيث يمكن تبخير وتوزيع المواد بكفاءة على مختلف الوسائط. يتكون النظام من عدة مكونات أساسية، بما في ذلك غرفة الفراغ، أنظمة ضخ عالية الأداء، مصادر التبخر الحراري، ومعدات مراقبة دقيقة. يبدأ العملية بإخلاء الغرفة لتحقيق مستوى الفراغ المطلوب، ثم تسخين المواد المصدر بشكل متحكم حتى تتبخر. بعد ذلك، تنتقل الجزيئات المتبخرة عبر فراغ المساحة وتتكثف على الوسيط المستهدف، مما يؤدي إلى تكوين طبقات رقيقة موحدة وجودة عالية. تضمن آليات التحكم المعقدة في النظام تنظيم دقيق لمعدلات الترسيب، سماكة الطبقة، وتكوين المادة. تجد هذه التقنية تطبيقات واسعة في تصنيع شرائح السيليكون، إنتاج طلاء البصريات، تصنيع خلايا الطاقة الشمسية، وأبحاث المواد المتقدمة. يُعتبر قدرة النظام على الحفاظ على ظروف معالجة نظيفة للغاية والتحكّم العالي في عملية الترسيب أمرًا لا غنى عنه لإنتاج مكونات إلكترونية عالية الأداء، عناصر بصريّة دقيقة، وأبحاث مواد متقدمة.