yüksək boşluqda evaporation sistem
Yüksek vakum evaporyasi sistemində bir sofistikiq texnoloji həllü təsvir edir, bu isə materialların dəqiqliklə ilə işlənmesi və qat qoyulması tətbiqləri üçün dizayn edilib. Bu modern sistem, tipik olaraq 10-6 torr-dan aşağı olan çox aşağı basınğa mühit yaradaraq işləyir, burada materiallar effektiv şəkildə buxardaşdırıla bilər və fərqli alt materiallara depozisiya oluna bilər. Sistem, vacuüm kamerası, yüksək performanslı pompa sistemləri, termal evaporyasiya mənbələri və dəqiqliklə ilə izləmə avadanlığından ibarət bir neçə əsas komponentdən ibarətdir. Proses, tələb olunan vacuüm səviyyəsinə çatmaq üçün kameralın boşaltılması ilə başlayır, daha sonra isə mənbə materiallarının nəzarət altında istifadə ediləcək qədər buxardaşdırılması ilə davam edir. Bu buxardırılmış partikullar daha sonra vacuüm kosmosunda seyr edib və hədəf alt materialda kondensasiya edib, dəyişməz, yüksək keyfiyyətli inkişaf qatları forması. Sistemdəki sofistikiq idarəetmə mekanizmləri, depozisiya sürətlərinin, qat tickimlərinin və material tərkibinin dəqiqliklə ilə rəqabətini təmin edir. Bu texnologiya, polisemder ümumiyyətlə istifadə edilir: semiqonduktorların hazırlanması, optik kövrələrin ümumi hazırlığı, surya qalıcılarının hazırlanması və advanced materiallar araşdırmalarında. Sistem, ultra-nəqalən işləmə şərtlərini saxlamağa və yüksək dərəcədə nəzarətli depozisiya etməyə görə yüksək performanslı elektron elementlərin, dəqiqlik optik elementlərin və advanced araşdırmalar materiallarının hazırlanmasına dəyər verir.